ESCORT SM: мониторинг процессов нанесения оптических покрытий

ОЕМ спектрофотометр ESCORT SM создан специально для измерения характеристик оптических покрытий в вакуумных напылительных установках различных типов. Комплекс ESCORT SM предназначен для построения на его базе системы оптического контроля: он позволяет измерять толщину нанесения оптического материала с точностью до 0,2 нм.

Специализированный спектрофотометр ESCORT SM — это высокоточный и надежный инструмент, не имеющий аналогов на рынке, в основе которого использованы новейшие разработки спектрального оборудования и прецизионных измерительных систем.

Описание OEM спектрофотометра ESCORT SM

Назначение спектрофотометра ESCORT SM

Измерительные функции

Пример применения

Спектрофотометр ESCORT SM предназначен для применения в качестве специализированного OEM-спектрофотометрического комплекса, интегрируемого в оптический канал вакуумной камеры для измерения характеристик оптических покрытий в процессе их нанесения, а также после нанесения, в вакуумных напылительных установках различных типов.

Спектрофотометр ESCORT SM содержит измерительный канал многоволнового контроля S125 и измерительный канал одноволнового контроля M450.

Спектрофотометр ESCORT SM позволяет одновременно по двум измерительным каналам проводить измерения коэффициентов пропускания Т или коэффициентов отражения R и предоставляет измеренные характеристики покрытия для автоматического управления процессом напыления.

Измерительный канал многоволнового контроля измеряет спектр одновременно для всех длин волн диапазона. Измерительный канал одноволнового контроля прецизионно и синхронно с многоволновым каналом измеряет характеристики покрытия на выбранной длине волны. Канал одноволнового контроля позволяет прецизионно измерить спектр после нанесения покрытия путем сканирования в заданном спектральном диапазоне с установленным шагом.

Измерение спектров пропускания, поглощения, отражения или эмиссии.

Измерение на фиксированных длинах волн коэффициента пропускания, оптической плотности, коэффициента отражения или значения эмиссии.

Измерения во времени на выбранной длине волны.

Расчет статистических характеристик.

Наличие двух независимых каналов измерений – многоволнового и одноволнового, работающих синхронно.
Оригинальные оптические схемы каналов измерения, обладающие высокими техническими характеристиками.
Встроенный персональный компьютер формата 3,5″ позволяющий проводить скоростную обработку результатов измерений и передачу данных внешней программе управления вакуумной установкой.
Встроенный цветной TFT-LCD Touch Screen модуль на базе компьютера формата 3,5″ или формата РС104 и наличие внутреннего программного обеспечения при автономной работе. Внутреннее программное обеспечение осуществляет мониторинг процесса напыления или управление процессом напыления по “Know how”-алгоритмам для наиболее близкого совпадения спектров расчетного и наносимого покрытия.
Связь с внешним компьютером по скоростному интерфейсу 10/100 Ethernet для работы под управлением внешнего специализированного программного обеспечения. Внешнее специализированное программного обеспечение в режиме “моделирования процесса нанесения покрытия” позволяет сравнить различные встроенные алгоритмы управления процессом напыления, а также результаты нанесения покрытия, базирующиеся на измерительных характеристиках ESCORT SM или другого спектрофотометрического оборудования. Внешнее специализированное программное обеспечение в режиме управления процессом напыления позволяет автоматизировать процесс нанесения покрытия на основе встроенных алгоритмов или проводить мониторинг процесса напыления, управляемого другими устройствами или алгоритмами.
Подключение к локальной компьютерной сети предприятия.

Измерение коэффициента пропускания или измерение коэффициента отражения в процессе вращения в вакуумной напылительной камере образца-свидетеля, на который наносится оптическое покрытие одновременно с рабочими деталями.

Описание OEM спектрофотометра ESCORT SM

Характеристика	Канал S125	Канал М450
Спектральный прибор:	спектрограф	монохроматор с двойной дисперсией
Фокусное расстояние спектрального прибора:	125 мм	450 мм (225 x 2)
Спектральный диапазон:	от 380 до 1100 нм	от 380 до 850 нм
Спектральные щели спектрального прибора:	фиксированная, шириной 0.04 мм	переменные, шириной от 0.2 до 2 мм
Выделяемый спектральный интервал:	от 1.35 до 3.4 нм	от 0.3 до 3 нм
Минимальное время измерения сигнала:	2 мс/спектр	2 мс/точка
Минимальный шаг спектрального сканирования:	0.37 нм/пиксель	0.1 нм
Абсолютная погрешность установки длины волны:	±0.4 нм	±0.2 нм
Воспроизводимость установки длины волны:	±0.2 нм	±0.1 нм
±0.1 нм	0.1 % (на λ = 450 нм)	0.005 % (на λ = 400 нм)
Фотометрический шум:	0.07 %	0.015 %
Фотометрическая точность:	±0.5 %	±0.2 %
Фотометрическая воспроизводимость (сходимость, повторяемость):	±0.15 %	±0.05 %
Приемники излучения:	CCD	ФЭУ

Возможность измерения спектра эмиссии:	да	нет
Ввод излучения в спектральный прибор:	оптическое волокно	оптическое волокно
Тип синхронизации:	внешняя; внутренняя	внешняя; внутренняя
Порты для подключения дополнительных внешних устройств:	Ethernet, USB, RS 232, VGA, PS/2	Ethernet, USB, RS 232, VGA, PS/2
Габариты:	483 x 600 x 177 мм	483 x 600 x 177 мм
Вес:	25 кг	25 кг
Энергопотребление:	230 В, 50 Гц, 200 В•А	230 В, 50 Гц, 200 В•А

Описание OEM спектрофотометра ESCORT SM

Вспомогательное оборудование

Периферийные устройства

Осветитель на основе галогенной лампы и жгут волоконно-оптический (для установки на оптический канал вакуумных камер или на имитатор оптического канала).

Имитатор оптического канала вакуумных камер (для проверки метрологических характеристик ОЕМ-спектрофотометра).

Модуль для измерения коэффициента зеркального отражения (с контрольными образцами).

Комплект аттестованных светофильтров для проведения операций проверки абсолютной погрешности по длинам волн и абсолютной погрешности при измерении коэффициента пропускания.

Несмотря на то, что спектрофотометр ESCORT SM обеспечивает выполнение всех своих функций при автономной работе, к нему могут быть подключены следующие внешние устройства:

стандартная клавиатура, обеспечивающая набор и редактирование текста (например, для ведения баз данных);
компьютерная мышь для повышения удобства пользования графическим интерфейсом внутреннего программного обеспечения;
внешний монитор;
принтер, который подключается через порт USB при необходимости распечатки результатов измерений;
внешний персональный компьютер для расширения функциональных возможностей спектрофотометра ESCORT SM для решения нестандартных измерительных задач.

Вместе с внешним персональным компьютером поставляется специализированное программное обеспечение или программное обеспечение по спецификации заказчика.

Работает на LPmotor